FT-3120B 半導(dǎo)體四探針測試儀 納米薄膜 LCD OLED 電阻測試儀器
發(fā)布時(shí)間： 2026-06-28 19:20:49 點(diǎn)擊： 24
1. 產(chǎn)品介紹
FT-3120B 半自動四探針測試儀為 ROOKO 瑞柯微自研半導(dǎo)體、光伏、薄膜材料用檢測設(shè)備，由寧波瑞柯析理儀器經(jīng)銷供應(yīng)。設(shè)備采用行業(yè)通用四點(diǎn)探針測試法，對標(biāo) ASTM 通用標(biāo)準(zhǔn)，搭載步進(jìn)控制系統(tǒng)驅(qū)動探針接觸樣品，減少人工操作帶來的數(shù)據(jù)波動。
設(shè)備支持單點(diǎn)單次、多點(diǎn)面掃描兩類分析模式，自動切換正負(fù)電流、正負(fù)電壓消除熱電勢誤差；搭配配套 PC 分析軟件，可采集存儲電阻、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、厚度、壓強(qiáng)全部過程數(shù)據(jù)，自動計(jì)算極值、均值、方差、變異系數(shù)并生成標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)表。適配 2~12 寸晶圓、方形硅片、透明導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體襯底等多類薄片試樣，用于新材料實(shí)驗(yàn)室、光伏制造、電子顯示行業(yè)質(zhì)量管控。
2. 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 步進(jìn)自動探頭升降系統(tǒng)，替代人工下壓，減少人為接觸偏差，測量均衡
- 自動雙向電流電壓輸出采集，弱化熱電勢對薄層低阻數(shù)據(jù)的干擾
- 雙材質(zhì)探針可選：圓頭銅鍍金、鎢鋼探針，探針間距 1/2/3mm 可更換、非標(biāo)可定制
- 探針壓力區(qū)間 100-550g 可調(diào)，適配薄脆晶圓與硬質(zhì)導(dǎo)電薄膜不同接觸需求
- 針間絕緣電阻≥1000MΩ，機(jī)械游移率≤0.3%，接觸穩(wěn)定性良好
- 限位與壓力雙重防護(hù)結(jié)構(gòu)，規(guī)避探針下壓過度劃傷試樣
- PC 軟件多維度數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，支持多點(diǎn)面電阻測繪，完整留存試樣導(dǎo)電均勻性數(shù)據(jù)
- 可更換多規(guī)格樣品臺，覆蓋 2 寸至 12 寸晶圓、156mm 方形硅片
- 標(biāo)配標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻，設(shè)備自檢校準(zhǔn)流程簡便，誤差可控
3. 工作原理
儀器采用四線制四探針標(biāo)準(zhǔn)測試原理：
- 試樣平整放置對應(yīng)規(guī)格樣品臺，設(shè)定探針壓力、測試點(diǎn)位、電流檔位；
- 步進(jìn)模組驅(qū)動四根探針同步下壓貼合樣品表層，外側(cè)兩根探針通入恒定直流電流，內(nèi)側(cè)兩根探針采集薄層電壓差值；
- 設(shè)備自動切換正、反向兩組電流電壓，抵消材料熱電勢產(chǎn)生的數(shù)據(jù)偏移；
- 內(nèi)置算法結(jié)合探針間距、樣品厚度自動換算方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率；
- 多點(diǎn)位掃描模式下依次采集不同區(qū)域數(shù)值，PC 端匯總?cè)繑?shù)據(jù)生成均勻性曲線與檢測報(bào)表。
4. 技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | FT-3120B 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 電阻測量區(qū)間 | 10??～2×10?Ω |
| 方塊電阻范圍 | 10??～2×10?Ω/□ |
| 電阻率測量區(qū)間 | 10??～2×10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA、1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA |
| 電流精度 | ±0.1% |
| 電阻精度 | ≤0.3% |
| 測量重復(fù)性 | ≤3% |
| 探針壓力可調(diào)區(qū)間 | 100g~550g |
| 探針性能 | 針間絕緣≥1000MΩ；機(jī)械游移率≤0.3% |
| 可選探針規(guī)格 | 鍍金銅針、鎢鋼針；間距 1/2/3mm，非標(biāo)可定制 |
| 適配樣品尺寸 | 晶圓 2~12 寸；方片 125/156mm |
| 分析模式 | 自動單點(diǎn)、手動單點(diǎn)、多點(diǎn)面掃描 |
| 防護(hù)配置 | 限位保護(hù)、壓力過載保護(hù) |
| PC 軟件顯示維度 | 電阻、方阻、電阻率、電導(dǎo)率、厚度、溫度、電流、電壓、探針間距、均值、方差、變異系數(shù) |
| 供電規(guī)格 | AC220V±10%，50Hz，整機(jī)功耗＜100W |
| 適用工況 | 常規(guī)實(shí)驗(yàn)室恒溫環(huán)境 |
| 標(biāo)配校準(zhǔn)件 | 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻 1 個(gè) |
5. 適用范圍
- 光伏行業(yè)：單 / 多晶硅片、選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片、表面鈍化片、太陽能電池導(dǎo)電層檢測
- 半導(dǎo)體行業(yè)：硅晶圓、非晶硅、微晶硅襯底、PN 結(jié)交叉指電極、電鍍銅電極測量
- 顯示行業(yè)：LCD、OLED、觸摸屏 ITO/FTO 透明導(dǎo)電薄膜電阻率檢測
- 新材料實(shí)驗(yàn)室：鐵電材料、納米導(dǎo)電涂層、薄層導(dǎo)體科研試驗(yàn)
- 合作檢測機(jī)構(gòu)：依據(jù) ASTM 標(biāo)準(zhǔn)開展薄層、半導(dǎo)體襯底第三方電性能檢測
6. 操作流程（簡潔）
- 接通 220V 穩(wěn)定電源，通訊線路連接儀器與電腦，安裝配套分析軟件；
- 匹配試樣尺寸安裝對應(yīng)晶圓樣品臺，放置無劃痕平整試樣；
- 在軟件設(shè)置探針間距、測試壓力、電流檔位、掃描點(diǎn)位數(shù)量；
- 選擇單點(diǎn) / 多點(diǎn)掃描模式，啟動測量，步進(jìn)機(jī)構(gòu)自動完成探針升降采集；
- 測試完成后軟件自動統(tǒng)計(jì)全部數(shù)據(jù)，導(dǎo)出 Excel 格式報(bào)表與均勻性數(shù)據(jù)；
- 抬升探針，取出試樣，關(guān)閉設(shè)備與軟件。
7. 綜合服務(wù)項(xiàng)目（簡潔版）
- 樣品測試服務(wù)：薄膜、晶圓試樣預(yù)檢測，輸出完整多點(diǎn)掃描數(shù)據(jù)記錄
- 延保服務(wù)：可選 1~3 年延保周期，延長設(shè)備維保周期
- 計(jì)量檢測服務(wù)：配套計(jì)量證書，滿足實(shí)驗(yàn)室資質(zhì)審核要求
- 儀器定制服務(wù)：非標(biāo)探針間距、超大尺寸樣品臺按需調(diào)整
- 技術(shù)升級服務(wù)：軟件算法、硬件步進(jìn)模組功能迭代優(yōu)化
8. 包裝配件（表格）
（1）出廠標(biāo)準(zhǔn)配件
| 品名 | 型號 | 單位 | 數(shù)量 |
|---|---|---|---|
| FT-3120B 主機(jī) | FT-3120B | 臺 | 1 |
| 測試線 | 3310-CSX | 套 | 1 |
| 直線型四探針探頭 | 3310-06B | 個(gè) | 1 |
| 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻 | 09A | 個(gè) | 1 |
| 設(shè)備說明書、合格證 | 配套資料 | 套 | 1 |
（2）可選增購配件
| 序號 | 型號 | 品名 | 單位 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 340-TTZ | 鍍金彈簧銅針組 | 組 | 4 根 / 組，替換耗材 |
| 2 | 340-WTZ | 彈簧鎢針組 | 組 | 耐磨高硬度探針 |
| 3 | 3310-YPT-2 | 多尺寸晶圓樣品臺 | 套 | 2/4/6/12 寸可選 |
| 4 | 3310-RJ | PC 分析軟件 | 套 | 多點(diǎn)掃描報(bào)表功能 |
| 5 | PC | 電腦 + 打印機(jī) | 套 | 按工況搭配 |
| 6 | 3310-JL | 計(jì)量技術(shù)服務(wù) | 份 | 附帶計(jì)量證書 |
| 7 | 3120B-YB | 延保服務(wù) | 年 | 1~3 年可選 |
9. 售后服務(wù)（簡潔）
- 原廠基礎(chǔ)質(zhì)保周期內(nèi)，非人為硬件故障提供維修、配件更換支持；
- 軟件參數(shù)調(diào)試、操作問題提供線上遠(yuǎn)程技術(shù)指導(dǎo)；
- 設(shè)備故障無法線上處置時(shí)，安排到場檢修服務(wù)；
- 定期推送探針保養(yǎng)、設(shè)備校準(zhǔn)操作指引文檔；
- 長期供應(yīng)原廠探針、測試線等替換耗材。
10. FAQ 常見問題
Q1：FT-3120B 能否測試超薄柔性導(dǎo)電薄膜？
A：可以，可下調(diào)探針壓力至低檔位，搭配軟質(zhì)載片支撐，避免薄膜破損，支持 ITO、銀納米線柔性膜檢測。
Q2：設(shè)備支持 12 寸整片晶圓全自動連續(xù)掃描嗎？
A：半自動機(jī)型需人工更換晶圓，搭配對應(yīng) 12 寸樣品臺可完成整片多點(diǎn)點(diǎn)位采集；全自動機(jī)型可參考 FT-3110 系列。
Q3：導(dǎo)出的數(shù)據(jù)能否直接用于實(shí)驗(yàn)室臺賬歸檔？
A：配套軟件支持報(bào)表、原始點(diǎn)位數(shù)據(jù)導(dǎo)出，文檔適配辦公軟件，可直接打印存檔。
Q4：設(shè)備校準(zhǔn)周期建議多久？
A：實(shí)驗(yàn)室研發(fā)場景建議 6 個(gè)月校準(zhǔn)；產(chǎn)線批量質(zhì)檢建議 3 個(gè)月校準(zhǔn)，可同步選購計(jì)量服務(wù)出具證書。
Q5：環(huán)境粉塵過多會影響測量嗎？
A：探針與樣品表面積灰接觸電阻大，建議測試前清潔樣品與探針，放置潔凈工作臺使用。
11. 關(guān)聯(lián)產(chǎn)品（簡潔）
- FT-3110 全自動四探針測試儀：全自動多點(diǎn)位晶圓掃描，適配大批量產(chǎn)線
- FT-371 高阻雙電四探針儀：絕緣薄膜、高阻半導(dǎo)體薄層檢測
- FT-361 低阻四探針測試儀：金屬鍍層、低阻導(dǎo)電材料測量
- FT-542SJB 雙極板電阻測試儀：液流電池炭氈壓縮電阻檢測
- FT-300 導(dǎo)體粉末電阻率儀：導(dǎo)電粉體、負(fù)極材料電性能測試
