FT-3110 全自動(dòng)四探針測試儀 12 寸晶圓電阻率面掃描 2D3D 方阻分布檢測設(shè)備
發(fā)布時(shí)間： 2026-06-28 11:07:30 點(diǎn)擊： 27
1. 產(chǎn)品介紹
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 系列全自動(dòng)四探針測試儀由寧波瑞柯析理儀器有限公司推出，為半導(dǎo)體、光伏行業(yè)適配的全自動(dòng)化電性能檢測設(shè)備，基于直線四探針測試原理開發(fā)，搭載 XY 電動(dòng)移動(dòng)載臺(tái)與 PC 智能分析系統(tǒng)，無需人工移動(dòng)探針即可完成全域自動(dòng)選點(diǎn)測試。整機(jī)符合 ASTM F84 半導(dǎo)體測試標(biāo)準(zhǔn)，自動(dòng)切換正負(fù)電流消除極化干擾，可同步采集方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成 2D/3D 電阻分布云圖與統(tǒng)計(jì)報(bào)表，區(qū)分 FT-3110A 通用款、FT-3110B 寬量程可擴(kuò)展款，適配 2-12 寸晶圓、光伏電池片、導(dǎo)電薄膜批量檢測，覆蓋半導(dǎo)體制造產(chǎn)線全檢、光伏工藝管控、新材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室等場景，測試效率與數(shù)據(jù)一致性優(yōu)于手動(dòng)四探針設(shè)備。
2. 產(chǎn)品特點(diǎn)
- 全自動(dòng)化測試架構(gòu)：XY 電動(dòng)載臺(tái)自動(dòng)走位，無需人工調(diào)整樣品位置，支持單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、直徑掃描、全域面掃描多模式自動(dòng)運(yùn)行
- 可視化數(shù)據(jù)輸出：PC 軟件實(shí)時(shí)生成 2D 等值線圖、3D 立體分布云圖，直觀呈現(xiàn)整片樣品電阻均勻性，支持大、小值、平均值、變異系數(shù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)
- 雙向恒流檢測：自動(dòng)切換正、負(fù)電流輸出與電壓采集，抵消材料極化電勢干擾，單點(diǎn)測試重復(fù)性≤0.5%，數(shù)據(jù)穩(wěn)定
- 探針壓力可調(diào)：探針壓力 100-500g 區(qū)間軟件可調(diào)，適配不同硬度、厚度樣品，降低探針壓痕損傷風(fēng)險(xiǎn)
- 雙型號(hào)量程覆蓋：FT-3110A 適配常規(guī)半導(dǎo)體、光伏樣品；FT-3110B 搭載寬電流模塊，覆蓋更低阻樣品檢測，支持功能擴(kuò)展
- 載臺(tái)規(guī)格可定制：標(biāo)配可適配 2-12 寸圓形晶圓載臺(tái)，也可定制 153mm×153mm 以內(nèi)方形載臺(tái)，適配方片樣品檢測
- 多參數(shù)同步采集：同步顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫濕度、探針間距、樣品厚度參數(shù)，支持單位自動(dòng)換算
- 多重防護(hù)：配備行程限位、探針壓力保護(hù)、誤操作急停按鈕、異常狀態(tài)聲光警報(bào)，降低設(shè)備與樣品損壞風(fēng)險(xiǎn)
- 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)體系：配套標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件，支持電阻校準(zhǔn)、坐標(biāo)中心校準(zhǔn)，保障測試數(shù)據(jù)溯源性
- 標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)表輸出：自動(dòng)生成批量測試報(bào)表，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出、打印，適配產(chǎn)線質(zhì)量管控、實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)歸檔需求
3. 工作原理
設(shè)備基于直流四探針測試法結(jié)合電動(dòng)載臺(tái)自動(dòng)定位技術(shù)，實(shí)現(xiàn)整片樣品電阻分布自動(dòng)化檢測：
- 四根鎢鋼探針以固定間距垂直接觸樣品表面，外側(cè)兩根探針輸出恒定測試電流，內(nèi)側(cè)兩根探針采集對(duì)應(yīng)電壓差，結(jié)合探針間距、樣品厚度自動(dòng)運(yùn)算方塊電阻、體積電阻率與電導(dǎo)率；
- 測試過程中 XY 電動(dòng)載臺(tái)按預(yù)設(shè)點(diǎn)位自動(dòng)移動(dòng)，探針按順序完成各點(diǎn)位測試，無需人工干預(yù)；
- 系統(tǒng)自動(dòng)切換正反向電流測試，抵消材料極化電勢與接觸電勢帶來的數(shù)值偏移，提升數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性；
- 點(diǎn)位測試完成后，軟件自動(dòng)整合全域數(shù)據(jù)，通過插值算法生成 2D 等值線分布圖、3D 立體電阻云圖，同步計(jì)算整片樣品電阻大、小值、平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、變異系數(shù)，直觀反映樣品導(dǎo)電均勻性；
- 可根據(jù)工藝需求選擇直徑掃描模式檢測徑向電阻差異，或面掃描模式完成整片樣品電阻分布測繪，為半導(dǎo)體擴(kuò)散、光伏鍍膜工藝調(diào)整提供量化數(shù)據(jù)支撐。
4. 技術(shù)參數(shù)
| 測試項(xiàng)目 | FT-3110A | FT-3110B（可擴(kuò)展） |
|---|---|---|
| 方塊電阻測量范圍 | 10??～2×10?Ω/□ | 10??～2×10?Ω/□ |
| 電阻率測量范圍 | 10??～2×10?Ω·cm | 10??～2×10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/100mA | 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/100mA/1A |
| 電阻測量精度 | ≤0.3%（標(biāo)準(zhǔn)電阻） | ≤0.3%（標(biāo)準(zhǔn)電阻） |
| 單點(diǎn)測試重復(fù)性 | ≤0.5% | ≤0.5% |
| 探針壓力調(diào)節(jié)范圍 | 100-500g 軟件可調(diào) | 100-500g 軟件可調(diào) |
| 探針配置 | 鎢鋼材質(zhì)，探針間距 1mm，機(jī)械游移率≤0.3%，其他規(guī)格可定制 | 鎢鋼材質(zhì)，探針間距 1mm，機(jī)械游移率≤0.3%，其他規(guī)格可定制 |
| 載臺(tái)規(guī)格 | 圓形載臺(tái)適配 2-12 寸晶圓；方形載臺(tái)支持 153mm×153mm 以內(nèi)定制 | 圓形載臺(tái)適配 2-12 寸晶圓；方形載臺(tái)支持 153mm×153mm 以內(nèi)定制 |
| 測試模式 | 單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、全域面掃描自動(dòng)測試 | 單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、全域面掃描自動(dòng)測試 |
| 軟件功能 | 多參數(shù)顯示、2D/3D 圖譜生成、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、報(bào)表導(dǎo)出打印、溫濕度顯示 | 多參數(shù)顯示、2D/3D 圖譜生成、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、報(bào)表導(dǎo)出打印、溫濕度顯示、功能擴(kuò)展 |
| 防護(hù) | 行程限位、壓力保護(hù)、急停按鈕、異常警報(bào) | 行程限位、壓力保護(hù)、急停按鈕、異常警報(bào) |
| 整機(jī)供電 | AC220V±10%，50Hz，功耗＜600W | AC220V±10%，50Hz，功耗＜600W |
5. 適用范圍
- 適配材料：半導(dǎo)體硅 / 鍺晶圓、非晶硅 / 微晶硅襯底、太陽能電池片、選擇發(fā)射極擴(kuò)散片、表面鈍化片、PN 結(jié)擴(kuò)散片、ITO 導(dǎo)電薄膜、金屬鍍層、鐵電材料、納米導(dǎo)電材料、觸控屏導(dǎo)電層；
- 應(yīng)用場景：半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)線全檢、光伏電池?cái)U(kuò)散 / 鍍膜工藝管控、顯示面板導(dǎo)電層均勻性檢測、新材料實(shí)驗(yàn)室電性能表征、第三方檢測機(jī)構(gòu)批量測試；
- 檢測指標(biāo)：方塊電阻、體積電阻率、電導(dǎo)率、整片樣品電阻均勻性、徑向電阻分布差異、批次電阻穩(wěn)定性；
- 適配標(biāo)準(zhǔn)：ASTM F84、GB/T 1551、GB/T 1552、GB/T 26074 半導(dǎo)體與導(dǎo)電薄膜測試通用標(biāo)準(zhǔn)。
6. 操作流程（簡潔版）
- 設(shè)備接通 220V 電源，連接通訊線至電腦，安裝配套 PC 分析軟件，完成端口匹配與通訊連接；
- 安裝對(duì)應(yīng)尺寸晶圓載臺(tái)，使用標(biāo)準(zhǔn)電阻完成電阻校準(zhǔn)，運(yùn)行坐標(biāo)校零完成載臺(tái)定位校準(zhǔn)；
- 使用晶圓吸筆將待測樣品平穩(wěn)放置于載臺(tái)中心，關(guān)閉遮光蓋；
- 軟件設(shè)置樣品尺寸、測試模式、測試點(diǎn)位、探針壓力、電流檔位參數(shù)；
- 啟動(dòng)自動(dòng)測試程序，載臺(tái)自動(dòng)走位完成點(diǎn)位測試，實(shí)時(shí)顯示測試數(shù)據(jù)與圖譜；
- 測試完成后，軟件自動(dòng)生成統(tǒng)計(jì)報(bào)表與分布云圖，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出、打印；
- 打開遮光蓋，取出樣品，清潔探針與載臺(tái)，關(guān)閉軟件與設(shè)備電源。
7. 配套服務(wù)項(xiàng)目（簡潔版）
- 售后服務(wù)：整機(jī)基礎(chǔ)質(zhì)保，線上遠(yuǎn)程操作指導(dǎo)、軟件調(diào)試，設(shè)備故障安排到場檢修；
- 延保服務(wù)：可選購 1-3 年期延保，延長整機(jī)保修周期；
- 樣品測試：合作實(shí)驗(yàn)室承接晶圓、薄膜樣品批量測試業(yè)務(wù)，同步出具計(jì)量證書；
- 技術(shù)升級(jí)：軟件功能迭代、載臺(tái)規(guī)格擴(kuò)展、量程模塊升級(jí)服務(wù)；
- 儀器租賃：適配短期項(xiàng)目、臨時(shí)批量檢測需求的設(shè)備租賃方案；
- 儀器定制：載臺(tái)尺寸、探針規(guī)格、測試功能按實(shí)際工況定制。
8. 包裝配件（標(biāo)準(zhǔn)配置外選購件）
| 序號(hào) | 配件型號(hào) | 配件名稱 | 單位 | 配置說明 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 3310-CSX | 測試通訊線 | 套 | 標(biāo)配 1 套 |
| 2 | 09A | 標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻 | 個(gè) | 選購 1-5 個(gè)，規(guī)格按需匹配 |
| 3 | 3310-YPT-2 | 晶圓樣品載臺(tái) | 套 | 2/4/6/8/12 寸圓形載臺(tái)，或方形載臺(tái)按需選購 |
| 4 | 3310-06B | 四探針測試探頭 | 個(gè) | 直線型鎢鋼探頭，可增購備用 |
| 5 | 340-TTZ | 鍍金彈簧銅針組件 | 組 | 4 根 / 組，軟質(zhì)樣品適配探針 |
| 6 | 340-WTZ | 彈簧鎢針組件 | 組 | 4 根 / 組，硬質(zhì)樣品耐磨探針 |
| 7 | 3310-RJ | PC 數(shù)據(jù)分析軟件 | 套 | 標(biāo)配 1 套，含 2D/3D 圖譜、報(bào)表功能 |
| 8 | PC | 電腦 + 打印設(shè)備 | 套 | 按需搭配，滿足 win10 及以上系統(tǒng)配置要求 |
| 9 | 3310-JL | 計(jì)量檢測證書 | 份 | 選購，合作機(jī)構(gòu)出具的校準(zhǔn)認(rèn)證文件 |
| 10 | 3110-XB | 晶圓吸筆 | 支 | 標(biāo)配 1 支，用于取放晶圓樣品 |
| 11 | 3110-YB | 設(shè)備延保服務(wù) | 年 | 選購 1-3 年延保周期 |
9. 售后服務(wù)（簡潔）
- 整機(jī)基礎(chǔ)質(zhì)保周期內(nèi)，非人為損壞零部件提供更換服務(wù)；
- 提供長期線上遠(yuǎn)程操作培訓(xùn)、故障排查、軟件調(diào)試支持；
- 探針、載臺(tái)等損耗配件可單獨(dú)采購補(bǔ)給；
- 配套 PC 軟件持續(xù)迭代更新，優(yōu)化測試功能與數(shù)據(jù)處理能力；
- 可預(yù)約到場設(shè)備校準(zhǔn)、維護(hù)與功能升級(jí)服務(wù)。
10. FAQ 常見問答
Q1：FT-3110A 和 FT-3110B 有什么區(qū)別，怎么選型？
A：常規(guī)半導(dǎo)體晶圓、光伏電池片檢測可選擇 FT-3110A；需要測試極低阻金屬鍍層、大電流測試場景，或后續(xù)需要擴(kuò)展功能，合適之選為 FT-3110B。
Q2：設(shè)備可以測試多大尺寸的樣品？
A：圓形晶圓適配 12 寸（300mm），方形樣品可定制 153mm×153mm 以內(nèi)載臺(tái)，特殊尺寸可溝通定制。
Q3：面掃描模式可以自己設(shè)置測試點(diǎn)數(shù)嗎？
A：支持，軟件內(nèi)可自定義測試點(diǎn)位密度、掃描路徑，滿足不同均勻性檢測精度需求。
Q4：探針磨損后可以單獨(dú)更換嗎？
A：可以，鎢鋼探針、鍍金銅針均為組件式設(shè)計(jì)，磨損后可單獨(dú)購買針組更換，無需更換整個(gè)探頭。
Q5：測試生成的 3D 圖譜可以導(dǎo)出圖片格式嗎？
A：配套軟件支持 2D/3D 圖譜導(dǎo)出為圖片格式，原始測試數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為 Excel 格式，適配報(bào)告編寫與數(shù)據(jù)歸檔。
Q6：設(shè)備日常校準(zhǔn)可以自主完成嗎？
A：日常電阻校準(zhǔn)、坐標(biāo)校零可按說明書步驟自主完成；年度計(jì)量校準(zhǔn)可預(yù)約工作人員到場完成。
11. 關(guān)聯(lián)產(chǎn)品（簡潔）
- FT-330/340/361/371 手動(dòng)四探針測試儀（小樣品手動(dòng)點(diǎn)測場景）
- FT-351 高溫四探針測試儀（高溫環(huán)境下材料電阻率檢測）
- FT-394C 手持式四探針測試儀（現(xiàn)場快速抽檢場景）
- FT-551 系列自動(dòng)極片電阻測試儀（鋰電池正負(fù)極片整體電阻檢測）
- FT-8600 粉末電阻率壓實(shí)密度一體機(jī)（導(dǎo)電粉體、石墨材料電性能檢測）
