瑞柯微 FT-351A/B/C 高溫四探針儀 200-1200℃氣氛保護電阻率分析儀
發布時間： 2026-07-12 10:58:51 點擊： 37
1. 產品介紹
FT-351 系列高溫四探針電阻率測試儀面向半導體、高溫導電新材料研發檢測打造，整合可控高溫加熱腔體與標準四探針測量夾具，可搭配氣氛保護工況開展試驗。設備區分 FT-351A/FT-351B/FT-351C 三款型號，適配不同阻值區間材料；整機自主完成正負電流、電壓循環采集，規避極化帶來的數據偏移，配套 PC 控制與分析程序，實時記錄升溫全過程方阻、電阻率、溫度數值，自動生成溫度 - 電阻關聯圖譜。加熱腔體采用真空成型復合陶瓷纖維，高溫工況不易掉粉，標配鎢 / 鉬探針，可增購鉑銠高溫探針，適配企業質檢車間、高校材料實驗室、新材料科研院所開展高溫導電性能研究。
2. 產品特點
- 分型號覆蓋多阻值區間，FT-351A 低阻、FT-351B 寬量程、FT-351C 高阻，按需選型適配不同半導體物料
- 多檔溫控區間可選，常溫至 120℃梯度可控，沖溫值控制在 1-3℃區間，控溫誤差 ±1℃
- 復合陶瓷纖維高溫腔體，真空成型工藝，高溫運轉不易脫落粉塵，維持腔體潔凈度
- 可搭配氣氛保護結構，滿足惰性氣氛下高溫導電試驗工況
- 自主切換正向、反向電流電壓，弱化材料極化干擾，數據穩定
- PC 一體化管控，同步記錄溫度、方阻、電阻率、厚度、探針間距多類參數，自動生成曲線與報表
- 直線型標準 4mm 探針，標配鎢 / 鉬材質，可增購鉑銠高溫探針適配更高溫工況
- 升溫節奏標準化，400-800℃區間 15 分鐘，800-1200℃區間 30 分鐘，溫控過程可控
- 多規格高溫陶瓷樣品臺、剛玉坩堝可搭配，適配固態、液態、顆粒試樣
- 配套高溫防護工具，升降裝置可選，簡化高溫試樣取放操作
3. 工作原理
將半導體、高溫導電試樣放置陶瓷樣品臺，裝入高溫腔體并按需通入保護氣氛；四探針模組接觸試樣表層，設備輸出設定檔位恒定電流，采集兩端電壓信號，依托四探針法換算方塊電阻、體積電阻率與電導率。加熱系統按照設定速率梯度升溫，PC 軟件同步記錄每一溫度節點電性能參數，匯總后生成溫度 - 電阻變化曲線；通過曲線可分析材料在升溫過程導電性能波動，為配方、燒結工藝調整提供數據支撐。
4. 技術參數（表格）
表格
| 測試參數 | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
|---|---|---|---|
| 方塊電阻區間 | 10??～2×10?Ω/□ | 10??～2×10?Ω/□ | 10??～10?Ω/□ |
| 電阻率區間 | 10??～2×10?Ω·cm | 10??～2×10?Ω·cm | 10??～10?Ω·cm |
| 測試電流檔位 | 0.1μA~100mA | 0.1μA~1A | 200pA~10mA |
| PC 顯示參數 | 方阻、電阻率、電導率、溫度、厚度、探針間距、電流電壓、溫度系數 | 方阻、電阻率、電導率、溫度、厚度、探針間距、電流電壓、溫度系數 | 方阻、電阻率、電導率、溫度、厚度、探針間距、電流電壓、溫度系數 |
| 可選溫控范圍 | 常溫～200/400/600/800/1000/1200℃ | 常溫～200/400/600/800/1000/1200℃ | 常溫～200/400/600/800/1000/1200℃ |
| 控溫指標 | 沖溫≤1-3℃，控溫精度 ±1℃ | 沖溫≤1-3℃，控溫精度 ±1℃ | 沖溫≤1-3℃，控溫精度 ±1℃ |
| 升溫速率 | 400-800℃約 15min；800-1200℃約 30min | 400-800℃約 15min；800-1200℃約 30min | 400-800℃約 15min；800-1200℃約 30min |
| 腔體材質 | 真空成型復合陶瓷纖維 | 真空成型復合陶瓷纖維 | 真空成型復合陶瓷纖維 |
| 標配探針 | 鎢 / 鉬探針，直線 4mm 間距 | 鎢 / 鉬探針，直線 4mm 間距 | 鎢 / 鉬探針，直線 4mm 間距 |
| 試樣尺寸要求 | 長≥13mm，寬 / 直徑≥13mm | 長≥13mm，寬 / 直徑≥13mm | 長≥13mm，寬 / 直徑≥13mm |
| 供電功率 | 220V，功率 2-4KW | 220V，功率 2-4KW | 220V，功率 2-4KW |
5. 適用范圍
- 檢測物料：半導體晶片、高溫導電陶瓷、石墨基復合材料、導電粉體、金屬基高溫導電板材、液態導電介質
- 使用機構：新能源材料企業研發實驗室、高校材料化工院系、半導體科研院所、第三方高溫材料檢測機構
- 檢測用途：高溫工況導電性能研究、燒結工藝參數調整、不同配方半導體對比、氣氛環境阻抗模擬、合規檢測數據采集
6. 操作流程（簡潔）
- 設備、電腦接通電源，檢查加熱腔體、探針、溫控模塊狀態
- 將試樣放置適配陶瓷樣品臺，閉合腔體，按需接入保護氣氛管路
- PC 端設置升溫區間、升溫速率、測試電流、循環采集參數
- 啟動升溫程序，設備自動升溫并交替正負電流采集電性能數據
- 全程自動存儲溫度、方阻、電阻率數據，生成關聯變化圖譜
- 試驗完成降溫至設定溫度，取出試樣，清理腔體與探針
7. 綜合服務項目（簡潔）
- 樣品測試服務：寄送導電試樣，技術團隊完成多溫區四探針檢測并輸出完整數據記錄
- 延保服務：原廠基礎質保周期外，可選購 1-3 年延保周期，降低后期運維損耗
- 合作機構計量服務：對接合規合作機構完成整機計量校準，配套計量證書
- 技術升級服務：溫控模塊、軟件程序、探針組件可申請工藝改良升級
- 儀器租賃服務：短期高溫材料研發項目，提供階段性儀器租賃方案
8. 標準包裝與可選配件
標配配件
- FT-351 對應機型主機 1 臺
- 標準四探針測試線束 1 套
- 鎢 / 鉬探針組件 1 組
- 常溫陶瓷樣品臺
- PC 分析軟件安裝包
- 設備操作手冊、配套檢測標準文檔
可選增購配件
- S 型 / B 型鉑銠高溫探針套件
- 高低溫陶瓷樣品臺、剛玉坩堝
- 標準校準電阻（多規格）
- 高溫升降裝置、高溫坩堝鉗、高溫防護手套
- 配套電腦、打印設備
- 計量檢測服務、1 至 3 年延保服務
9. 售后服務（簡潔）
- 出廠配套基礎質保周期，質保期內非人為損壞零部件提供更換支持
- 線上遠程協助溫控設置、軟件操作、基礎故障排查
- 設備故障可預約到場服務，技術人員現場檢修調試
- 長期供給探針、陶瓷臺、線束等損耗配件，支持批量儲備采購
- 定期推送高溫腔體、探針保養操作規范，延長儀器運轉周期
10. FAQ 常見問答
Q：三款 FT-35 機型如何區分選型？
A：FT-351A 適配低阻導電板材；FT-351B 量程覆蓋區間更廣，市面主流半導體材料適配；FT-351C 針對高阻半導體、絕緣摻雜導電材料。
Q：測試溫度能否超過 1200℃？
A：標配溫控上限 1200℃，如需 1300/1700℃工況，可增購鉑銠探針與配套高溫樣品臺。
Q：測試試樣形態有什么限制？
A：固態、顆粒、液態試樣均可，搭配對應陶瓷樣品臺、剛坩堝即可完成檢測。
Q：無電腦設備能否單獨測試？
A：整機升溫與數據采集依賴 PC 程序，無電腦無法開展完整梯度高溫試驗。
Q：氣氛保護結構是否標配？
A：氣氛保護為選配結構，惰性氣氛高溫試驗可溝通加裝配套管路組件。
Q：探針損耗后能否單獨采購替換？
A：鎢鉬、鉑銠探針均為損耗配件，可單獨增購對應規格套件。
11. 關聯產品（簡潔）
- FT-371 室溫四探針電阻率測試儀（常溫薄膜方阻檢測）
- FT-304/306 高阻絕緣材料電阻率儀
- FT-320TXW 碳纖維高溫電阻率測試設備
- FT-310 炭素材料電阻檢測儀
- FT-8600 粉末壓實電阻率一體機
